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ターゲット材料

ターゲット材料

酸化物，窒化物，炭化物などの化合物ターゲットや金属ターゲット、さらにタブレットやパウダーなど各種薄膜原料を扱っています。

化合物ターゲット

単体酸化物ターゲット

代表品名 純度 密度範囲 形状
Al2O3 4N 70〜95% 御指定
SiO2 4〜5N 100% 御指定
SnO2 3〜4N 50〜60% 御指定
Al2O3 4N 70〜95% 御指定
TiO2 3〜4N 70〜95% 御指定
Ta2O5 3〜4N 70〜95% 御指定
ZrO2 3〜4N 70〜80% 御指定
※ 上記の製品・仕様に限らず、御用命・御相談請け賜ります。

複合酸化物ターゲット

代表品名 純度 密度範囲 形状
ITO (In2O3＋SnO2） 4N 60〜99% 御指定
ATO (Sb2O3＋SnO2） 3〜4N 50〜60% 御指定
AZO (Al2O3＋ZnO） 3〜4N 70〜95% 御指定
BaxSryTiOz 3N 70〜80% 御指定
(Cu＋In＋Ga)Ox 3〜4N 70〜80% 御指定
In2O3＋ZrO2＋CeO2 3〜4N 70〜90% 御指定
※ 上記の製品・仕様に限らず、御用命・御相談請け賜ります。

窒化･弗化･硫化・炭化物ターゲット

代表品名 純度 密度範囲 形状
Si3N4 3N 60〜70% 御指定
MgF2 3〜4N 60〜90% 御指定
TbF3 3〜4N 60〜70% 御指定
ZnS 2〜3N 60〜80% 御指定
SrS 3〜4N 70〜70% 御指定
SiC 3N 95% 御指定
C 4〜5N 95% 御指定
※ 上記の製品・仕様に限らず、御用命・御相談請け賜ります。

金属ターゲット

金属・複合金属ターゲット

代表品名 純度 密度範囲 形状
Al 3N 60〜70% 御指定
Si 5〜6N 100% 御指定
Mg 5〜9N 100% 御指定
Zn 4〜6N 100% 御指定
Co＋Cr 3〜4N 100% 御指定
Co＋Ni 2〜4N 100% 御指定
AlSiCu 4〜5N 100% 御指定
Al＋Cu 4〜5N 100% 御指定
Ni＋Cr 2〜4N 100% 御指定
※ 上記の製品・仕様に限らず、御用命・御相談請け賜ります。

特殊形状ターゲット

代表品名 純度 密度範囲 形状
In 4N 100% 御指定
ITO (In2O3＋SnO2） 4N 70〜99% 御指定
ZnSbSn 3〜4N 70〜80% 御指定
BiTiO3 3〜4N 70〜80% 御指定
AZO (Al2O3＋ZnO） 3〜4N 70〜95% 御指定
※ 上記の製品・仕様に限らず、御用命・御相談請け賜ります。

単体・複合タブレット

酸化･窒化・弗化･硫化・炭化物

代表品名 純度 密度範囲 形状
PZT (Pb(Zn,Ti)O3） 3〜4N 80〜90% 御指定
MgF2 4N 70〜80% 御指定
ITO (In2O3＋SnO2） 3〜4N 70〜95% 御指定
TiO2 3〜4N 70〜90% 御指定
Ti 3〜4N 100% 御指定
MgO 3〜4N 70〜80% 御指定
※ 上記の製品・仕様に限らず、御用命・御相談請け賜ります。

グラニュール･パウダー

酸化･窒化・弗化･硫化・炭化物

代表品名 純度 密度範囲 形状
ZnSe 5N 95%以上 1μm〜60mm
ZnS 4〜5N 95%以上 1μm〜60mm
CeO2 3〜4N 70〜95% 1μm〜60mm
Cr2O3 3N 70〜95% 1μm〜60mm
CrFeOx 3N 70〜95% 1μm〜60mm
Si3N4 3N 60〜70% 1μm〜60mm
※ 上記の製品・仕様に限らず、御用命・御相談請け賜ります。

レア・メタル，レアアース ターゲット

レア・メタル ターゲット

代表品名 純度 形状
Ni ニッケル 3〜4N 御指定
Ti チタン 3〜6N 御指定
Zr ジルコニウム 3N 御指定
Ta タンタル 3〜4N 御指定
Nb ニオブ 3〜4N 御指定
Co コバルト 4N up 御指定
Cr クロム 4N up 御指定
Ge ゲルマニウム 4N up 御指定
In インジウム 御指定
Co コバルト 5N up 御指定
V バナジウム 3N 御指定
Re レニウム 御指定
B ボロン 御指定
Bi ビスマス 御指定
Li リチウム 御指定
W タングステン 御指定
Mo モリブデン 3N 御指定
Mn マンガン 3N 御指定
Sn 錫（スズ） 4N 御指定
Zn 亜鉛（アエン） 御指定
※ 形状・サイズ・純度等は見積依頼・御注文の際に御指定下さい。

レア・アース ターゲット

代表品名 純度 形状
La ランタン 3N 御指定
Ce セリウム 3N 御指定
Pr プラセオジム 3N 御指定
Nd ネオジム 3N 御指定
Sm サマリウム 3N 御指定
Eu ユーロピウム 3N 御指定
Gd ガドリニウム 3N 御指定
Tb テルビウム 3N 御指定
Dy ディスプロシウム 3N 御指定
Ho ホルミウム 3N 御指定
Er エルビウム 御指定
Tm ツリウム 3N 御指定
Yb イッテルビウム 御指定
Lu ルテチウム 御指定
Y イットリウム 3N 御指定
Sc スカンジウム 御指定
※ 形状・サイズ・純度等は見積依頼・御注文の際に御指定下さい。
レア･アース酸化物ターゲットも製造可能です。御相談下さい。

お問い合わせ

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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