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放射光モニター用水冷ベリリウムミラー

放射光モニター用水冷ベリリウムミラー

本ベリリウムミラーは放射光モニター用に開発された高精度・高純度ミラーです。

特長

  • ミラー面精度 : λ/4 以上
  • 高反射率
  • 直接冷却方式の採用による放射光に対する熱的安定性
  • ベリリウム材は純度99.0%以上 かつ HIP 処理による高緻密性
  • 超高真空対応

構成

  • ベリリウムミラーブロック
  • φ6mm水冷パイプ
  • OFHC カッパーブロック
型  式 主要部寸法
Beミラー寸法 水冷パイプ 全高
SORBE-M1  70×33.6 mm φ6×5本 70mm
SORBE-M2  70×40.0 mm φ6×5本 70mm
SORBE-M3 100×33.6 mm φ6×5本 55mm
SORBE-M4 100×40.0 mm φ6×5本 55mm
上記の仕様以外の特注品についても御相談下さい。

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
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イベント情報

2022年3月22日〜26日
【併設展示】
応用物理学会春季学術講演会(於:青山学院大学 相模原キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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