放射光モニター用水冷ベリリウムミラー
本ベリリウムミラーは放射光モニター用に開発された高精度・高純度ミラーです。
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特長
- ミラー面精度 : λ/4 以上
- 高反射率
- 直接冷却方式の採用による放射光に対する熱的安定性
- ベリリウム材は純度99.0％以上 かつ HIP 処理による高緻密性
- 超高真空対応
構成
- ベリリウムミラーブロック
- φ6mm水冷パイプ
- OFHC カッパーブロック
| 型 式 | 主要部寸法 | ||
|---|---|---|---|
| Beミラー寸法 | 水冷パイプ | 全高 | |
| SORBE-M1 | 70×33.6 mm | φ6×5本 | 70mm |
| SORBE-M2 | 70×40.0 mm | φ6×5本 | 70mm |
| SORBE-M3 | 100×33.6 mm | φ6×5本 | 55mm |
| SORBE-M4 | 100×40.0 mm | φ6×5本 | 55mm |
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。