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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

表面分析装置

真空搬送システム

真空部品・コンポーネント

その他各種取扱製品

X線用ベリリウム窓等

X線用ベリリウム窓など、金属ベリリウムの特性を利用した各種機械加工製品です。 高真空対応となっており、水冷タイプなどの対応も可能です。

X線用ベリリウム窓等 ラインナップ

X線用ベリリウム窓

本製品は従来不可能であった金属ベリリウムとステンレス母材との直接接合を行い、接合部の真空気密性を極度に向上させたもので、高真空気密を要求される部分のX線透過窓として広く使用できます。

中性子発生用ベリリウムターゲット

本ベリリウムターゲットは、中性子発生加速システムにおいて、高電流の水素又は重水素をベリリウムに照射することにより、中性子を発生させることができます。

放射光モニター用水冷ベリリウムミラー

本ベリリウムミラーは放射光モニター用に開発された高精度・高純度ミラーです。

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年3月22日〜26日
【併設展示】
応用物理学会春季学術講演会(於:青山学院大学 相模原キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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