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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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その他各種取扱製品

全自動リークディテクタ

HLDシリーズ

全自動リークディテクタ

シンプルかつ容易な操作性と、フレキシブルな装置構成、多言語サポート、さらにコンパクトかつ軽量設計により、あらゆる環境への対応を実現したマススペクトロメータ方式リークディテクタです。

HLDシリーズは、お客様のアプリケーションに最適な製品をご提案できます。

特長

容易な操作 - 2ボタン操作
  • 2ボタン操作のシンプルな構成と、先進的なエキスパートシステムの頭脳が統合されています。
高性能 - 広範なテスト方法に対応しています
  • 最先端の分光計と真空システムデザインにより、高性能と特定アプリケーションのための様々なテスト方法を提供します。
多目的用途 - 様々なシステム構成を実現しました
  • 様々なオプションにより、装置構成をフレキシブルに変更し、あらゆるアプリケーションの要求とテスト環境への対応を実現しました。
高い信頼性 - 堅牢なデザイン
  • 先進の堅牢なデザインにより、最も厳しい業界基準にも適合し、最も厳しい環境での運用においても高い信頼性を発揮します。

製品一覧

ポータブルタイプ

PR02,PD03 項目 PR02 PD03
最小検出感度 2x10-5Pa・m3/s
最大テスト可能圧力 1330Pa
粗引きポンプ排気速度(50Hz) 2mm3/h,33.3L/min 3mm3/h,50L/min
粗引きポンプ型式 DS40M(RP) IDP-3(DSP)

モバイルタイプ

MR15,MR30,MD15,MD30 項目 MR15 MD15 MR30 MD30
最小検出感度 2x10-5Pa・m3/s
最大テスト可能圧力 1330Pa
粗引きポンプ排気速度(50Hz) 15mm3/h,250L/min 30mm3/h,500L/min
粗引きポンプ型式 DS302(RP) IDP-15(DSP) DS602(RP) TriScroll620(DSP)

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年3月22日〜26日
【併設展示】
応用物理学会春季学術講演会(於:青山学院大学 相模原キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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