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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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石英ビューポート

石英ビューポート

本製品の超高真空用ゼロレングス石英ビューポートは、最高品質の材料を用いてUHVにも対応しています。

また、要透過波長に応じてMgF2結晶窓材やサファイヤ窓材、さらにARコート品のビューポートも製作可能です。

特長

  • 超高真空はもちろん、極高真空にも対応
  • 透過率を重視した仕様に対応
  • 用途に応じた仕様、特注品にも対応

主な仕様

耐熱温度 200℃ MAX
窓材 Corning HPFS 7980 Fused Silica

特性

特性グラフ

外形寸法図

外形寸法図

■ 石英窓

型番 フランジ 石英厚さ A B C
VPZL-450DU ICF114 6.4 68.3 17.3 10.4
VPZL-275DU ICF70 3.3 35.6 12.7 8.9
ICF34及び、ICF152以上のサイズについては別途ご相談ください。
製品の仕様・寸法は、改良等のため予告なく変更することがありますので予めご了承ください。

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年3月22日〜26日
【併設展示】
応用物理学会春季学術講演会(於:青山学院大学 相模原キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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