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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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ドライスクロールポンプ

IDPシリーズ / SH-110 / TriScrollシリーズ / TriScroll Inverterシリーズ

ドライスクロールポンプ

コンパクト性・経済性・信頼性を重点に開発されたアジレント(バリアン)のドライスクロールポンプです。

コストパフォーマンスの高い本ポンプは、分析機器をはじめあらゆる分野で高い性能評価を戴いており、安心してご使用いただけます。

特長

  • 市場で最も低い到達圧「1.3Pa〜6.6Pa」の実現は、高真空用ポンプにかかる負担を大幅に軽減し、製品寿命を確実に延ばし経済的です。
  • オイルフリーです。 システム汚染は一切ありません。
  • オートガスバラスト機能は真空度に影響することなく、通常の排気では困難な水分子を、特別操作の必要もなく自動除去してくれます。
  • 低振動・低ノイズで、ハイテク機器等の静かな環境下の作業を要するシステムに最適です。
  • メンテナンスサイクルが長いため、1年以上に渡る安定した連続オペレーションが可能です。

製品一覧

IDP-3

IDP-3 項目 50Hz 60Hz
排気速度 30L/min 60L/min
到達圧力 33Pa,2.5x10-1Torr

IDP-7

IDP-7 項目 50Hz 60Hz
排気速度 120L/min 152L/min
到達圧力 4.0Pa,3.0x10-2Torr 2.6Pa,2.0x10-2Torr

IDP-10

IDP-10 項目 50Hz 60Hz
排気速度 170L/min
到達圧力 2.0Pa,1.5x10-2Torr

IDP-15

IDP-15 項目 50Hz 60Hz
排気速度 214L/min 256L/min
到達圧力 1.3Pa,1.0x10-2Torr

TriScroll 300

TriScroll 300 項目 50Hz 60Hz
排気速度 210L/min 250L/min
到達圧力 1.3Pa,1.0x10-2Torr

TriScroll 300 Inverter

TriScroll 300 Inverter 項目 50Hz / 60Hz
排気速度 250L/min
到達圧力 1.3Pa,1.0x10-2Torr

TriScroll 600

TriScroll 600 項目 50Hz 60Hz
排気速度 420L/min 500L/min
到達圧力 9.3x10-1Pa,7.0x10-3Torr

TriScroll 600 Inverter

TriScroll 600 Inverter 項目 50Hz / 60Hz
排気速度 500L/min
到達圧力 9.3x10-1Pa,7.0x10-3Torr

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年3月22日〜26日
【併設展示】
応用物理学会春季学術講演会(於:青山学院大学 相模原キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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