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トランデューサーゲージ

ConvecTorr,536,531,572,563,571,MBAシリーズ,IMGシリーズ,UHV-24

トランデューサーゲージ

アジレント(バリアン)のトランデューサーゲージは、低真空対応から超高真空まで、多数種のゲージの中から最良の一台をご提供いたします。

また、Websiteに掲載しているアジレントの真空ゲージ以外に各社の真空ゲージも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

概要

 
ホットイオン コールドカソード コンベクション または サーモカップル (T/C)
ConvecTorr
536,531
572 (glass)
571 (glass)
563 (glass)
MBA2-200
IMG-100
IMG-300
UHV-24 (nude)
UHV-24p (nude)
真空レンジ < 超高真空 > < 高真空 > < 中真空 > < 低真空 >
10-8 10-5 10-1 102 105 Pa

特長

ConvecTorr

ConvecTorr コンベクションゲージ
測定圧力範囲 : 1x10-1Pa - 133Pa,1x10-3Torr - 大気圧
  • 精密,再現性,安定接続を有する最も一般的なコンベクションゲージ
  • 対応コントローラ : XGS-600(コンベクションゲージカード)

531,536

531,536 T/Cゲージ
測定圧力範囲 : 1x10-1Pa - 133Pa,1x10-3Torr - 大気圧
  • 536 : バイヨネット接続がない以外はConvecTorrと同じ真空性能
  • 531 : もっとも経済的な低真空ゲージ
  • 対応コントローラ : XGS-600(コンベクションゲージカード),RGC-100/150(531とのパッケージ)

572

572 ベアード・アルパート型イオンゲージチューブ
測定圧力範囲 : 2.7x10-8Pa - 1x10-1Pa,2x10-10Torr - 1x10-3Torr
  • 最も人気のある多目的高真空(HV)ゲージ
  • デュアルタングステンフィラメント
  • 対応コントローラ : XGS-600(ホットフィラメントイオンゲージカード)

571

571 ベアード・アルパート型イオンゲージチューブ
測定圧力範囲 : 2.7x10-8Pa - 1x10-1Pa,2x10-10Torr - 1x10-3Torr
  • プラチナコーティングがない以外は 563 と同等
  • シングルトリアコートイリジウムフィラメント
  • 対応コントローラ : XGS-600(ホットフィラメントイオンゲージカード)

563

563 ベアード・アルパート型イオンゲージチューブ
測定圧力範囲 : 2.7x10-8Pa - 1x10-1Pa,2x10-10Torr - 1x10-3Torr
  • 総合的な性能と信頼性を有する最も多目的な高真空(HV)ゲージ
  • シングルトリアコートイリジウムフィラメント
  • 対応コントローラ : XGS-600(ホットフィラメントイオンゲージカード)

MBA2-200

MBA2-200 ベアード・アルパート型イオンゲージ
測定圧力範囲 : 4x10-8Pa - 6.7Pa,3x10-10Torr - 5x10-2Torr
  • ブレイク耐久性のある高真空(HV)ゲージ
  • MBA2-200 : デュアルトリアコートイリジウムフィラメント,メタルケース
  • MBA2-200T : デュアルタングステンフィラメント,メタルケース
  • 対応コントローラ : XGS-600(ホットフィラメントイオンゲージカード)

IMG-100

IMG-100 インバーテッドマグネトロンゲージ
測定圧力範囲 : 7x10-7Pa - 1x10-1Pa,5x10-9Torr - 1x10-3Torr
  • 耐久性があり応答速度が速い高真空(HV)ゲージ
  • 対応コントローラ : XGS-600(インバーテッドマグネトロンイオンゲージカード)
※ 生産中止になっている可能性がありますのでご注意ください。

IMG-300

IMG-300 インバーテッドマグネトロンゲージ
測定圧力範囲 : 1x10-9Pa - 1x10-1Pa,1x10-11Torr - 1x10-3Torr
  • 最も丈夫で応答速度が速い超高真空(UHV)ゲージ
  • 対応コントローラ : XGS-600(インバーテッドマグネトロンイオンゲージカード)

UHV-24

UHV-24 ベアード・アルパート型ヌードイオンゲージ
測定圧力範囲 : 2.7x10-9Pa - 1x10-1Pa,2x10-11Torr - 1x10-3Torr
  • 高い真空度の測定が可能で最も人気の高い超高真空(UHV)ゲージ
  • 超高真空(UHV)の正確な計測に優位なタングステンフィラメントと酸化に強いトリアコートイリジウムフィラメントの選択が可能
  • 対応コントローラ : XGS-600(ホットフィラメントイオンゲージカード)

UHV-24p

UHV-24p ベアード・アルパート型ヌードイオンゲージ
測定圧力範囲 : 6.7x10-10Pa - 1x10-2Pa,,5x10-12Torr - 1x10-3Torr
  • 最も高い真空度の測定が可能な超高真空(UHV)ゲージ
  • 超高真空(UHV)の正確な計測に優位なタングステンフィラメントと酸化に強いトリアコートイリジウムフィラメントの選択が可能
  • 対応コントローラ : XGS-600(ホットフィラメントイオンゲージカード)

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年3月22日〜26日
【併設展示】
応用物理学会春季学術講演会(於:青山学院大学 相模原キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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