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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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ゲートバルブ

ゲートバルブ

超高真空(UHV)対応のゲートバルブです。 どの方向でも装着可能なマウンティングタイプであり、スムーズな作動のためほとんど振動がありません。

特長

  • 低価格
  • 高品質
  • 低ノイズ,低振動
  • 簡単メンテナンス

主な仕様

材質
ボディ,ゲート,ボンネット SUS 300シリーズ
エアーシリンダー アルミニウム
溶接ベローズ AM350(オーステナイト系ステンレス鋼)
ボンネットシール メタル / バイトン
ゲートシール バイトン
作動タイプ
■ 圧空式
エアープレッシャー 70〜100psig (4.9〜7kgf/cm2
※ 大口径ポート : 80〜100psig (5.6〜7kgf/cm2
エアースピードコントロールバルブ
位置表示器(OPTION) 20mA AC 110V/220V, 20mA DC 24V
■ 手動式
回転ハンドルタイプ
耐熱温度
ボディ 250℃(メタル)
150℃(バイトン)
ゲート 150℃
作動部 60℃
リークレート
ボディ 7.5×10-10Torr L/s(メタル)
7.5×10-10Torr L/s(バイトン)
ポートサイズ 1.5", 2.5", 4", 6", 8", 10" etc.
フランジ種類 ICF, NW, ASA,JIS
マウンティングポジション どの方向でも装着可能 (但し大口径ポートは垂直または水平方向に限る)
メンテナンスサイクル 100,000サイクル または 1年
性能向上等のため予告なく仕様を変更することがありますので予めご了承ください。

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年3月22日〜26日
【併設展示】
応用物理学会春季学術講演会(於:青山学院大学 相模原キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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