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製品紹介

真空薄膜形成装置 / 成膜装置

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超高真空ビューイングポート(ビューポート)

真空チャンバーの覗き窓およびレーザ照射窓として用いられる超高真空用ビューポートです。 表面のガラス面とフランジ面が同じ厚みであるゼロレングスの超高真空ビューイングポートであり、合成石英窓やコバール(KODIAL)ガラス窓,MgF2結晶窓等、さまざまな窓材からお選び頂けます。

超高真空ビューイングポート(ビューポート)ラインナップ

合成石英ビューポート

本製品の超高真空用ゼロレングス合成石英ビューポートは、最高品質の材料を用いてUHVにも対応しています。

また、要透過波長に応じてMgF2結晶窓材やサファイヤ窓材、さらにARコート品のビューポートも製作可能です。

各種ビューポート

合成石英窓以外にも、ガラス窓,石英窓,サファイヤ窓,結晶窓,鉛ガラス窓など、波長や目的に応じた窓材での超高真空用ゼロレングスビューポートの提供が可能です。

ARコーティングもお受け致しております。 フランジサイズは、規格以外の形状もご相談下さい。

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年3月22日〜26日
【併設展示】
応用物理学会春季学術講演会(於:青山学院大学 相模原キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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