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ターボ分子ポンプ

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ターボ分子ポンプ

「最小のコストサイズで最高の性能を!」の設計コンセプトで作られたアジレント(バリアン)のターボ分子ポンプです。

長年培ってきた真空技術により、あらゆる点で最高性能を実現しています。

また、Websiteに掲載しているアジレントのターボ分子ポンプ以外に各社のターボ分子ポンプも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

特長

  • 70〜2000L/sの幅広い排気速度レンジの製品ラインナップから、システムに最適な一台をお選びいただけます。
  • 1800Pa域の極めて高いフォアライン圧力に対応していますので、粗引きポンプの選択肢が広がります。
  • 堅牢で軽量な一体型ローター構造の開発・成功はポンプの寿命を飛躍的に向上させ、長時間の連続稼動を可能にしました。
  • 360度、どの方向に対して取り付けても問題なく稼動し、設置場所を選びません。
  • メンテナンスフリーで、システムのダウンタイムを最小限に押さえられます。

製品一覧

TwisTorr 74 FS

TwisTorr 74 FS 項目 DN40 DN63
吸入口フランジ ICF70,NW40 ICF114,ISO 63
排気速度 (N2) 44L/s 60L/s
到達圧力 <5x10-8Pa,<3.8x10-10Torr (粗引き : 84L/min)

TwisTorr 305 FS,TwisTorr 305-IC

TwisTorr 305 FS 項目 DN100 DN160
吸入口フランジ ICF152,ISO 100 ICF203,ISO 160
排気速度 (N2) 250L/s 250L/s
到達圧力 1x10-8Pa,1x10-10Torr (DSP : IDP-3,IDP-7,IDP-10/RP : DS102,DS202)

TwisTorr 404 FS

TwisTorr 304 FS 項目 DN100
吸入口フランジ ICF152,ISO 100K,ISO 100F
排気速度 (N2) 355L/s
到達圧力 1x10-8Pa,1x10-10Torr (RP : DS 302, DSP : IDP-10)

TwisTorr 704 FS

Turbo-V 750 TwisTorr 項目 DN160
吸入口フランジ ICF203,ISO 160K,ISO 160F
排気速度 (N2) 660L/s
到達圧力 <1x10-8Pa,<1x10-10Torr (RP : DS 302)
<1x10-8Pa,<1x10-10Torr (DSP : IDP-10,IDP-15)

TwisTorr 804 FS

Turbo-V 850 TwisTorr 項目 DN200 DN250
吸入口フランジ ICF253,ISO 200K,ISO 200F ISO 250K,ISO 250F
排気速度 (N2) 720L/s
到達圧力 <1x10-8Pa,<1x10-10Torr (RP : DS 302)
<1x10-8Pa,<1x10-10Torr (DSP : IDP-10,IDP-15)

Turbo-V 1001 Navigator

Turbo-V 1001 Navigator 項目 DN160 DN200 DN250
吸入口フランジ ISO 160 ICF253,ISO 200,ISO 200F ISO 250,ISO 250F
排気速度 (N2) 790L/s 950L/s 1,050L/s
到達圧力 <1x10-8Pa,<1x10-10Torr (RP : DS 402, DSP : IDP-10,IDP-15)

Turbo-V 2300 TwisTorr

Turbo-V 2300 TwisTorr 項目 DN250
吸入口フランジ ICF304,ISO 250F
排気速度 (N2) 2,050L/s
到達圧力 <1x10-8Pa,<1x10-10Torr (>667L/min 粗引きポンプ)

Turbo-V 1K-G System

Turbo-V 1K-G System 項目 DN160 DN200
吸入口フランジ ISO 160 ISO 200
排気速度 (N2) 810L/s 1,080L/s
到達圧力 <1x10-8Pa,<1x10-10Torr (>334L/min 粗引きポンプ)

Turbo-V 2K-G System

Turbo-V 2K-G System 項目 DN250
吸入口フランジ ISO 250F
排気速度 (N2) 1,600L/s
到達圧力 <1x10-6Pa,<1x10-8Torr (>667L/min 粗引きポンプ)

Turbo-V 3K-G System

Turbo-V 3K-G System 項目 DN250
吸入口フランジ ISO 250F
排気速度 (N2) 2,200L/s
到達圧力 <1x10-7Pa,<1x10-9Torr (>667L/min 粗引きポンプ)

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年3月22日〜26日
【併設展示】
応用物理学会春季学術講演会(於:青山学院大学 相模原キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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