高真空排気システム
TPS-mini / TPS-compact / TPS-mobile / TPS-flexy
ターボ分子ポンプとドライスクロールポンプ（またはロータリーポンプ）を組み合わせたアジレント（バリアン）の高真空排気システムです。
コンパクトで操作性に優れており、低コストでお手軽に高真空環境を提供することができます。
また、Websiteに掲載しているアジレントの高真空排気システム以外に各社の高真空排気システムも取り扱っていますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
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真空部品・コンポーネント
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- 電流導入端子
- 各種フランジ・真空配管部品
- 超高真空ビューイングポート（ビューポート）
- Ｘ線用ベリリウム窓等
- X線・紫外線用極薄フォイル
- 超高真空機器・導入機
その他各種取扱製品
関連技術情報
特長
- ニュージェネレーションのターボ分子ポンプを搭載（TwisTorr 74 FS / TwisTorr 304 FS etc.）。
- 最新型のドライスクロールポンプ IDP-3 を搭載可能（TPS-compact）。
- パーティクル等の拡散を防止するためのアイソレーションバルブ付。
- 圧力セットポイントを出力可能。
- 軽量・コンパクト、ドライ仕様の丈夫なシステム（TPS-mini,TPS-compact）。
製品一覧
TPS-mini
 |
項目 | KF40 | ISO 63 | CFF4.5" |
|---|---|---|---|---|
| 吸入口フランジ | NW40 | ISO63 | ICF114 | |
| ターボ分子ポンプ | TwisTorr 74 FS | |||
| 粗引きポンプ | 10L/min ダイアフラムポンプ | |||
| 排気速度 (N2) | 37L/s | 48L/s | ||
| 到達圧力 | 2x10-5Pa | 5x10-6Pa | ||
TPS-compact
 |
項目 | TwisTorr 74 FS-KF40 | TwisTorr 74 FS-CFF2.75" | TwisTorr 74 FS-ISO63 | TwisTorr 74 FS-CFF4.5" |
|---|---|---|---|---|---|
| 吸入口フランジ | NW40 | ICF70 | ISO 63 | ICF114 | |
| ターボ分子ポンプ | TwisTorr 74 FS | ||||
| 粗引きポンプ | IDP-3 ドライスクロールポンプ | ||||
| 排気速度 (N2) | 48L/s | ||||
| 到達圧力 | 1x10-6Pa | 1x10-7Pa | 1x10-6Pa | 1x10-7Pa | |
| 項目 | TwisTorr 304 FS-ISO100 | TwisTorr 304 FS-CFF6" | TwisTorr 304 FS-ISO160 | TwisTorr 304 FS-CFF8" | |
| 吸入口フランジ | ISO 100 | ICF152 | ISO 160 | ICF203 | |
| ターボ分子ポンプ | TwisTorr 304 FS | ||||
| 粗引きポンプ | IDP-3 ドライスクロールポンプ | ||||
| 排気速度 (N2) | 180L/s | ||||
| 到達圧力 | 1x10-6Pa | 1x10-7Pa | 1x10-6Pa | 1x10-7Pa | |
TPS-mobile
 |
項目 | TwisTorr 74 FS-DN40 | TwisTorr 74 FS-DN63 |
|---|---|---|---|
| 吸入口フランジ | NW40 | ISO 63，ICF114 | |
| ターボ分子ポンプ | TwisTorr 74 FS | ||
| 推奨粗引きポンプ | DSP : IDP-7 | ||
| RP : DS42 - DS102 | |||
| 排気速度 (N2) | 48L/s | ||
| 到達圧力 | 5x10-7Pa (DSP) | ||
| 5x10-8Pa (RP) | |||
| 項目 | TwisTorr 304 FS-DN100 | TwisTorr 304 FS-DN160 | |
| 吸入口フランジ | ISO 100，ICF152 | ICF203 | |
| ターボ分子ポンプ | TwisTorr 304 FS | ||
| 推奨粗引きポンプ | DSP : IDP-7，TS300 | ||
| RP : DS102，DS302，DS402 | |||
| 排気速度 (N2) | 180L/s | ||
| 到達圧力 | <1x10-8Pa (DSP) | ||
| <1x10-8Pa (RP) | |||
| 項目 | TV551-DN100 | TV551-DN160 | |
| 吸入口フランジ | ISO 100, ICF152 | ISO 160K，ICF203 | |
| ターボ分子ポンプ | Turbo-V 551 Navigator | ||
| 推奨粗引きポンプ | DSP : TS300，TS600 | ||
| RP : DS302，DS402 | |||
| 排気速度 (N2) | 550L/s | ||
| 到達圧力 | <1x10-8Pa (DSP) | ||
| <1x10-8Pa (RP) | |||
TPS-flexy
 |
項目 | NW40 | ISO63 | CF4.5" | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 吸入口フランジ | NW40 | ISO 63 | ICF114 | ||||
| ターボ分子ポンプ | TwisTorr 74 FS | ||||||
| 粗引きポンプ | MD-1 ダイアフラムポンプ | ||||||
| 排気速度 (N2) | 33L/s | 45L/s | |||||
| 到達圧力 | 2x10-5Pa | 5x10-6Pa | |||||
| 項目 | NW40 | ISO63 | CF4.5" | ||||
| 吸入口フランジ | NW40 | ISO 63 | ICF114 | ||||
| ターボ分子ポンプ | TwisTorr 74 FS | ||||||
| 粗引きポンプ | IDP-3 ドライスクロールポンプ | ||||||
| 排気速度 (N2) | 37L/s | 48L/s | |||||
| 到達圧力 | 1x10-6Pa | 1x10-7Pa | |||||
| 項目 | ISO100 | CF6" | |||||
| 吸入口フランジ | ISO 100 | ICF152 | |||||
| ターボ分子ポンプ | TwisTorr 304 FS | ||||||
| 粗引きポンプ | IDP-7 ドライスクロールポンプ | ||||||
| 排気速度 (N2) | 250L/s | ||||||
| 到達圧力 | <1x10-6Pa | <1x10-7Pa | |||||
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。