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顕微法

細く集光させたレーザーや電子線、もしくは探針(プローブ)で試料表面を走査することにより、試料表面の高解像度な顕微鏡像を得ることができます。

顕微法 ラインナップ

共焦点レーザー顕微鏡

共焦点レーザー顕微鏡は、光源から照射されるレーザーを対物レンズを用いて試料表面で焦点(ビームスポット)に絞り、試料表面から発せられる蛍光を焦点(ピンホール)を通して光検出器で検出する共焦点方式を採用したレーザー顕微鏡のことです。

このレーザーを試料面上に走査することによって、従来の顕微鏡よりも鮮明で高解像度なイメージが得られます。

走査型電子顕微鏡(SEM)

走査型電子顕微鏡(SEM)は、電子銃から照射される電子線を電場や磁場を用いて試料表面で焦点(ビームスポット)に絞り、試料表面から発せられる二次電子や反射電子などを検出器で検出することで試料表面の様々な情報を得ることができます。

この電子線を試料面上に走査することによって、試料表面の微細な構造や形態、組成の違いが画像として観察できます。

走査型プローブ顕微鏡(SPM)

走査型プローブ顕微鏡(SPM)は、微小な探針(プローブ)を用いて試料表面をなぞるように走査することで、試料表面の微細な構造を観察できます。

SPMには、微少な電流(トンネル電流)を利用する走査型トンネル顕微鏡(STM)や、原子間力を利用する原子間力顕微鏡(AFM)などの種類があり、これらは空間分解能が極めて高く、超高真空下では原子レベル以下の表面凹凸を観察することができます。

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
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イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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