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走査型プローブ顕微鏡(SPM)

走査型プローブ顕微鏡(SPM)

走査型プローブ顕微鏡(Scanning Probe Microscope : SPM)は、微小な探針(プローブ)を用いて試料表面をなぞるように走査することで、試料表面の微細な構造を観察できます。

SPMには、微少な電流(トンネル電流)を利用する走査型トンネル顕微鏡(STM)や、原子間力を利用する原子間力顕微鏡(AFM)などの種類があり、これらは空間分解能が極めて高く、超高真空下では原子レベル以下の表面凹凸を観察することができます。

また、真空装置と組み合わせた複合装置とした場合、トランスファーロッドで試料搬送することで、真空を破らず成膜直後の薄膜試料の表面分析が可能になります。

特長

  • SEM等では観察できないい数nm程度の微細凹凸の検出。
  • 多様な環境下での微小三次元形状観察。

PLDとSPMとの複合装置例

準備中

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
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イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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