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飛行時間型原子散乱表面分析装置

TOFLAS-3000

飛行時間型原子散乱表面分析装置

原子散乱表面分析装置による応用機能 : 簡易SIMS

二次イオン質量分析法(Secondary Ion Mass Spectrometry : SIMS)は、イオン(一次イオン)ビームを試料表面に照射し、スパッタリング現象により発生するイオン(二次イオン)を質量分離する分析手法であり、絶縁体表面に関しては入射イオンによる帯電(チャージアップ)効果のため、分析が困難でした。

電気的に中性な原子ビームを用いた飛行時間型-原子散乱表面分析装置は、応用機能として簡易SIMS測定を行うことが可能であり、これにより絶縁体表面の高感度かつ高分解能な元素分析を実現しました。

簡易SIMS

電気的に中性な原子ビームを採用することで、一次イオンによる帯電(チャージアップ)の問題がなくなりました。

  • 金属,半導体はもとより絶縁体でも簡易SIMS測定が可能。
  • 水素(H)やリチウム(Li)といった軽元素を高感度・高分解能に検出。
  • 試料表面の不純物の有無の確認に有効。
  • 同位体の分析も可能。
簡易SIMSスペクトルの例

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
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イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会(於:東北大学 川内キャンパス)
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トピックス

2021年5月1日
関東営業所(埼玉県新座市)を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所(茨城県那珂市)を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム(COI STREAM)」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
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