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高純度オゾン発生装置

OHSR-1000PA

高純度オゾン発生装置

オゾナイザーで発生したオゾンを小型冷凍機によって液化・貯蔵し、貯蔵室の温度を制御する事によって、液体オゾンを気化し高純度オゾンを発生供給する装置です。

特長

  • 液化オゾンを気化する方式のため、高純度オゾン（90％以上）を発生させる事ができます。
    （真空中のサンプルに強い酸化力を与えます）
  • クライオスタット部は、小型・軽量化によって反応室に直接接続可能です。
  • 供給されたオゾンフラックスは、貯蔵室の温度制御によって高い安定性（変動率：2％以下）と可変性が得ることができます。
  • 本装置は、オゾンの液化・貯蔵・気化及び排気が自動的に行うことができ、その時間設定は任意に選択可能です。
  • 水・エアー・電気・温度等のインターロック以外にも、万一の場合を考えた安全対策が幾重にも施されております。

お問い合わせ

新製品情報

2021年3月
【真空搬送システム】
クラスターシステム
2020年2月
【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS
2017年3月
【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
その他の新製品情報 >>

イベント情報

2022年9月20日〜23日
【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
その他のイベント情報 >>

トピックス

2021年5月1日
関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
2018年12月17日
茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
2013年10月31日
文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
2011年4月15日
原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。
その他のトピックス >>
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