マグネトロンスパッタガン
SPGシリーズ
従来のマグネトロン放電領域を低圧力側に2桁以上拡張した超低圧力対応のマグネトロンスパッタガンです。
今まで不可能であった他の蒸着法との併用が可能となり、高純度の薄膜を得ることができます。
また、小型 かつ フランジマウントとなっており、メンテナンスが容易です。
RFスパッタにおいては従来と同等のマグネトロンスパッタを行うことができます。
既存の装置にも容易に取り付けることが可能で、各成膜実験を行うことができます。
ここからサイトの主なメニューです
真空薄膜形成装置 / 成膜装置
表面分析装置
真空搬送システム
真空部品・コンポーネント
その他各種取扱製品
関連技術情報
特長
- 不純物混入の少ない高品質膜が得られます。
- ターゲットへの再付着が減少するため、異物発生が抑えられます。
- 主ポンプへの負担を軽減できます。
- スパッタ粒子間衝突による拡散がなく、ターゲット利用効率が向上します。
- 垂直成分が増加するため、ステップカバレッジが向上します
- 超高真空装置への組込ができ、他の蒸発源と併用することができます。
主な仕様
| 型式 | ターゲットサイズ | 取付フランジ | パワー |
| SPG-001 | φ29mm | ICF70 | DC/RF MAX500W |
| SPG-001-S | φ29mm，シャッター付 | ICF114 | DC/RF MAX500W |
| SPG-002 | φ2”対応 | ICF114 | DC/RF MAX500W |
| SPG-002-S | φ2”対応，シャッター付 | ICF152 | DC/RF MAX500W |
| SPG-003 | φ3”対応 | ICF152 | DC/RF MAX500W |
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
- 2021年5月1日
- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
- 2018年12月17日
- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
- 2013年10月31日
- 文部科学省による「革新的イノベーション創出プログラム（COI STREAM）」拠点に東京大学等と共に採択されました。
- 2011年4月15日
- 原子散乱表面分析装置 が、りそな中小企業振興財団・日刊工業新聞共催第23回「中小企業優秀新技術・新製品賞」一般部門“優良賞”を受賞しました。