RHEEDユニット
RHD-30K-034
本ユニットは超真空下で加速収束された電子線を基板に照射し、表面キャラクタリゼーションを行うための反射高速電子線回析（RHEED）システムです。
コンパクトサイズでICF34フランジマウントの電子銃は、その小ささから取り付けやメンテナンスが容易になっています。
また、標準的な回折像観察に加えて、オプション追加により高圧条件下での測定またはサンプル面内スキャン機能を実現することができます。
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関連技術情報
特長
- 30kV 対応かつコンパクトな制御電源
- 1Pa台まで使用可能な差動排気設計
- 2段差動排気（オプション）により100Pa台でのモニター可能
- スキャンコイル（オプション）による電子線スキャニングで、同一条件での多数回折が可能
標準構成・各種オプション
RHEED標準構成 （差動排気RHEED）
- RHEED 電子銃 : ICF34フランジマウント、加速電圧30kV（最大）
- 高圧電源およびリモートコントローラー
- 差動排気用ターボ分子ポンプ
- 標準的な円形蛍光スクリーン : ICF152フランジ用 または ICF203フランジ用
高圧条件下RHEED観察用オプション （2段差動排気RHEED）
- 2段差動排気ステージ : 電子ビームガイドの位置（X-Y軸，チルト）調整機構付き
- 高圧条件下RHEED像観察用小丸近接スクリーン : φ30mm
- 高圧条件下RHEED像観察用可動スクリーン
サンプル面内スキャン機能用オプション （スキャニングRHEED）
- 電子ビーム面内平行スキャンコイルおよびドライバ
RHEED画像処理用オプション
- RHEED画像処理ソフトウェア : CCD カメラによる画像取り込みとデータ処理
標準仕様
1．電子銃
| 加速電圧 | 最大30kV （常用25kV） |
| フィラメント | タングステン（W）ヘアピン |
| 出射電子ビーム径 | φ0.5mm |
| 電子ビーム偏向 | φ0.3mm以下 |
| 偏向 | コイル偏向，XY軸 2方向 |
| 寸法 / 取り付けフランジ | 長さ310mm x 径43mm（突起部含まず）/ ICF34フランジマウント |
| 差動排気ポート | ICF34フランジ |
2．高圧電源
| 出力電圧 | 0〜30KV 可変 |
| 出力安定度 | 出力変動 0.5 % 以下 |
| リモートコントローラー | リモコンボックスにて電子銃操作のパラメータ調整可能 |
| 寸法 | 幅480mm x 奥行400mm x 高さ150mm （JISラックマウント） |
| 入力 | AC 100V，単相 |
3．蛍光スクリーン
| スクリーン | 蛍光剤P-1（P-47），ICF152・ICF203対応，シャッター付き |
新製品情報
- 2021年3月
- 【真空搬送システム】
クラスターシステム - 2020年2月
- 【真空部品】
アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
レーザーアシスト基板加熱機構
イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
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- 関東営業所（埼玉県新座市）を移転しました。
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