PLD自動制御システム
TL-SFT
本システムは、パスカル製 PLD / レーザーMBE装置の基板加熱温度，ターゲット選択，ターゲット自転・揺動，コンビナトリアルマスク位置，基板回転などの制御に加え、アブレーションレーザーの発振なども同期制御が可能となっています。
これにより各機能のマニュアル制御のみならず成膜レシピをスクリプトとして作成・実行することで、一連の成膜プロセスを自動で行うことができます。
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関連技術情報
新製品情報
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アジレント社製 新型TMP TwisTorr 305 FS - 2017年3月
- 【真空薄膜形成装置】
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イベント情報
- 2022年9月20日〜23日
- 【併設展示】
応用物理学会秋季学術講演会（於：東北大学 川内キャンパス）
トピックス
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- 茨城事業所（茨城県那珂市）を移転しました。
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